1）一般廢氣：來源于設備運轉造成的發熱量，不含有害物或高溫氣體，但充分考慮凈化室中央空調和過濾器設備的負荷，廢氣由一般風車抽至大氣，未經處理排入大氣。注：GEX選用鍍鋅螺旋管，六角選用SUS304酸排（性）、堿排（AEX）系統軟件步驟：

2）強酸強堿廢氣：關鍵來源于化學水處理站和集成ic清理全過程中造成的揮發物氣體。一部分氣體帶有濃煙，一部分氣體對呼吸道有刺激效果，對身體危害。因而，務必在洗滌器中清洗中合，隨后根據散熱風扇排污到大氣中。

3）有機溶劑排污：關鍵來自各工藝流程用有機溶劑黏合、顯影液、清理的全過程。須經有機化學廢氣處理設備處理后由風機排入大氣。

4）堿性汽提廢氣：汽提加工工藝的關鍵來源于是根據冷疑吸收器汽提液、氣，將廢氣在液相制冷后旋出，經冷凝器消化吸收處理后含廢氣濃度值會減少，隨后送至中間洗滌器做清洗和處理，再由風機排風系統。

5）應急排氣管：當凈化室機尾風管內探頭引氣濃度值過高時，應開展應急實際操作，確保一切正常生產制造，維護保養室內空氣。